一種反應(yīng)源連接結(jié)構(gòu)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202023030768.3 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN214060637U 公開(公告)日 2021-08-27
申請(qǐng)公布號(hào) CN214060637U 申請(qǐng)公布日 2021-08-27
分類號(hào) C23C16/54(2006.01)I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆;用金屬材料對(duì)材料的鍍覆;表面化學(xué)處理;金屬材料的擴(kuò)散處理;真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆;金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 唐允清 申請(qǐng)(專利權(quán))人 福建兆元光電有限公司
代理機(jī)構(gòu) 福州市景弘專利代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 林祥翔;徐劍兵
地址 350108福建省福州市閩侯縣南嶼鎮(zhèn)生物醫(yī)藥和機(jī)電產(chǎn)業(yè)園區(qū)(現(xiàn)住所:閩侯縣南嶼鎮(zhèn)新聯(lián)村6號(hào))
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種反應(yīng)源連接結(jié)構(gòu),包括第一容器,第二容器,所述第一容器、第二容器均存放有反應(yīng)源,所述第一容器的一通氣端與供氣裝置連通,第一容器的另一通氣端與第二容器的一通氣端連通;所述第二容器的另一通氣端與反應(yīng)室連接。本方案的具體方式中,我們使用的兩個(gè)反應(yīng)源的串聯(lián)組合的新的連接結(jié)構(gòu),由于前瓶溶度大于后瓶,當(dāng)組合裝置剩余量到預(yù)設(shè)濃度時(shí)即可換下,并且保證其中后瓶能夠準(zhǔn)確更換,舊源使用量可達(dá)100%,并且使用該新的連接結(jié)構(gòu)后鋼瓶內(nèi)MO源飽和蒸汽壓穩(wěn)定(即濃度穩(wěn)定),使外延性能波動(dòng)極小,利于穩(wěn)定性生產(chǎn),達(dá)到反應(yīng)源輸入環(huán)境改善的技術(shù)效果。