一種濺射后LCD靶材的處理方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202210324311.8 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN114686839A | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-07-01 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN114686839A | 申請(qǐng)公布日 | 2022-07-01 |
| 分類(lèi)號(hào) | C23C14/58（2006.01）I | 分類(lèi) | 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕; |
| 發(fā)明人 | 姚力軍;潘杰;王學(xué)澤;趙麗;李闖;范文新;周偉君 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 廣東江豐電子材料有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京遠(yuǎn)智匯知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 516001廣東省惠州市惠州仲愷高新區(qū)東江產(chǎn)業(yè)園東新大道106號(hào)創(chuàng)新大廈18樓1803T號(hào)房 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供一種濺射后LCD靶材的處理方法，所述處理方法包括對(duì)濺射后LCD靶材的背板進(jìn)行噴砂處理，去除背板上殘留的濺射物。所述處理方法操作簡(jiǎn)單，處理成本較低，實(shí)現(xiàn)了濺射后LCD靶材中背板的回收利用；而且噴砂處理中用到的砂料可以回收重復(fù)利用，不會(huì)對(duì)環(huán)境造成污染，是一種綠色經(jīng)濟(jì)的靶材回收處理方法，適合大規(guī)模推廣應(yīng)用。 |
