一種靶材組件的制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210434925.1 申請日 -
公開（公告）號 CN114750079A 公開（公告）日 2022-07-15
申請公布號 CN114750079A 申請公布日 2022-07-15
分類號 B24C9/00（2006.01）I;B24C1/00（2006.01）I;B24B29/02（2006.01）I;C23C14/34（2006.01）I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 姚力軍;潘杰;王學(xué)澤;李闖;范文新;周偉君 申請（專利權(quán)）人 廣東江豐電子材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京遠(yuǎn)智匯知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 -
地址 516001廣東省惠州市仲愷高新區(qū)東江產(chǎn)業(yè)園東新大道106號創(chuàng)新大廈18樓1803T號房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種靶材組件的制備方法，所述靶材組件的制備方法包括如下步驟：（1）準(zhǔn)備靶材、背板和保護(hù)板；（2）對步驟（1）所述靶材依次進(jìn)行粗銑、精銑、拋光處理、遮蔽處理以及噴砂處理，得到處理后的靶材；（3）對步驟（2）所得處理后靶材焊接至背板，以形成靶材組件；步驟（2）所述遮蔽處理包括將保護(hù)板固定設(shè)置于靶材的非濺射面上。本發(fā)明提供的靶材組件的制備方法通過提供保護(hù)板解決了噴砂對于拋光后的靶材帶來的影響，且保護(hù)板可以循環(huán)使用，節(jié)省了制備成本。