一種LCD靶材及其制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202210398672.7 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN114686827A 公開（公告）日 2022-07-01
申請(qǐng)公布號(hào) CN114686827A 申請(qǐng)公布日 2022-07-01
分類號(hào) C23C14/34（2006.01）I;B23P23/04（2006.01）I;B24B21/00（2006.01）I;B24B29/02（2006.01）I;B24C1/00（2006.01）I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 姚力軍;潘杰;王學(xué)澤;趙麗;張曉馳;范文新;周偉君 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 廣東江豐電子材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京遠(yuǎn)智匯知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 -
地址 516001廣東省惠州市惠州仲愷高新區(qū)東江產(chǎn)業(yè)園東新大道106號(hào)創(chuàng)新大廈18樓1803T號(hào)房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種LCD靶材及其制備方法，所述LCD靶材的制備方法包括：提供LCD靶材坯件和背板；將LCD靶材坯件依次進(jìn)行機(jī)械加工、焊接、拋光處理、噴砂處理、清洗以及干燥，得到所述LCD靶材；所述拋光處理包括：采用砂帶進(jìn)行一次拋光，而后采用拋光輪進(jìn)行二次拋光；所述拋光輪的材質(zhì)包括百潔布。本發(fā)明提供的LCD靶材的制備方法中采用砂帶控制靶材濺射面的粗糙度，再采用拋光輪控制光澤，使得所述LCD靶材的粗糙度可達(dá)到0.01?0.5μm，具有較高的光澤度，滿足后續(xù)的使用要求。