一種LCD條形靶材組件的校正方法
基本信息
申請?zhí)?/td> | CN202210434952.9 | 申請日 | - |
公開(公告)號 | CN114749512A | 公開(公告)日 | 2022-07-15 |
申請公布號 | CN114749512A | 申請公布日 | 2022-07-15 |
分類號 | B21D1/00(2006.01)I;B21D1/10(2006.01)I;B21D37/16(2006.01)I | 分類 | 基本上無切削的金屬機(jī)械加工;金屬沖壓; |
發(fā)明人 | 姚力軍;潘杰;王學(xué)澤;施凱煜;范文新;周偉君 | 申請(專利權(quán))人 | 廣東江豐電子材料有限公司 |
代理機(jī)構(gòu) | 北京遠(yuǎn)智匯知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | - |
地址 | 516001廣東省惠州市仲愷高新區(qū)東江產(chǎn)業(yè)園東新大道106號創(chuàng)新大廈18樓1803T號房 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本發(fā)明提供了一種LCD條形靶材組件的校正方法,將LCD條形靶材組件呈U型平放在校正平臺上,向所述LCD條形靶材組件的兩端進(jìn)行加壓,然后冷卻至室溫再撤去壓力。相比于現(xiàn)有技術(shù)在中心處施加壓力的校正方法,本發(fā)明所述校正方法針對LCD條形靶材組件的兩端進(jìn)行加壓,可以有效解決金屬靶材因熱脹冷縮效應(yīng)而出現(xiàn)的不同程度變形問題,保證LCD條形靶材組件整體平面度在合格范圍內(nèi),大大提高了校正效率,成品率較高。 |
