一種陽極氧化膜的制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202210391695.5 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN114717628A 公開(公告)日 2022-07-08
申請(qǐng)公布號(hào) CN114717628A 申請(qǐng)公布日 2022-07-08
分類號(hào) C25D11/10(2006.01)I;C25D11/08(2006.01)I;C25D11/16(2006.01)I;C25D11/18(2006.01)I 分類 電解或電泳工藝;其所用設(shè)備〔4〕;
發(fā)明人 姚力軍;潘杰;王學(xué)澤;王青松;趙麗;李延浩 申請(qǐng)(專利權(quán))人 廣東江豐電子材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京遠(yuǎn)智匯知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 -
地址 516001廣東省惠州市仲愷高新區(qū)東江產(chǎn)業(yè)園東新大道106號(hào)創(chuàng)新大廈18樓1803T號(hào)房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種陽極氧化膜的制備方法,所述制備方法包括依次進(jìn)行的脫脂處理、堿蝕處理、中和處理、陽極氧化處理、超聲波清洗處理和封孔處理。本發(fā)明通過改善工藝參數(shù),采用6?40g/L草酸和14?16g/L硫酸的混合酸陽極氧化,將各個(gè)基礎(chǔ)操作重新組合,可以明顯提升皮膜的耐腐蝕性能和耐電壓性,尤其是耐HCl腐蝕性能,直接解決OLED用真空干刻設(shè)備零部件表面陽極氧化膜的的腐蝕、龜裂等問題,明顯提升設(shè)備在腔體內(nèi)的使用壽命。