電阻性組件的結構及制作方法
基本信息
申請?zhí)?/td> | CN201711431175.8 | 申請日 | - |
公開(公告)號 | CN109962160A | 公開(公告)日 | 2019-07-02 |
申請公布號 | CN109962160A | 申請公布日 | 2019-07-02 |
分類號 | H01L45/00(2006.01)I | 分類 | 基本電氣元件; |
發(fā)明人 | 黃志仁 | 申請(專利權)人 | 珠海興芯存儲科技有限公司 |
代理機構 | 上海專利商標事務所有限公司 | 代理人 | TARGPS科技公司;珠海興芯存儲科技有限公司 |
地址 | 塞舌爾伊甸島 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 一種電阻性組件的結構,連接于一第一導體與一第二導體,該電阻性組件包括:一第一穿透洞,位于該第一導體上方;一第一障壁層,接觸于該第一穿透洞內表面以及該第一導體;一可變電阻層,位于該第一穿透洞內并覆蓋于該第一障壁層;一第二障壁層,位于該第一穿透洞內并覆蓋于該可變電阻層;一導電插塞,覆蓋于該第二障壁層并填滿該第一穿透洞;一第二穿透洞,位于該導電插塞上方;以及一第三障壁層,接觸于該第二穿透洞內表面以及該導電插塞;其中,該第二導體位于該第二穿透洞內,并接觸于該第三障壁層。 |
