一種銻化鎵多晶原料的合成裝置及方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010659461.5 申請日 -
公開（公告）號 CN111647947B 公開（公告）日 2021-11-19
申請公布號 CN111647947B 申請公布日 2021-11-19
分類號 C30B29/40（2006.01）I;C30B28/00（2006.01）I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 呂冰 申請（專利權(quán)）人 蘇州燎塬半導(dǎo)體有限公司
代理機構(gòu) 北京中仟知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 田江飛
地址 215614 江蘇省蘇州市張家港市鳳凰鎮(zhèn)鳳凰大道14號（鳳凰科技創(chuàng)業(yè)園F幢6層）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種銻化鎵多晶原料的合成裝置及方法，該裝置通過采用密閉的安瓿瓶，同時結(jié)合獨特的石英坩堝結(jié)構(gòu)和工藝設(shè)計，從而避免了高溫下銻單質(zhì)的大量揮發(fā)，成功獲得了化學(xué)計量比接近1:1的銻化鎵多晶原料，并且具有極好的工藝重復(fù)性。