一種銦砷銻體單晶的生長裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010658989.0 申請日 -
公開（公告）號 CN111748846A 公開（公告）日 2020-10-09
申請公布號 CN111748846A 申請公布日 2020-10-09
分類號 C30B29/40;C30B11/00 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 滕樹龍 申請（專利權(quán)）人 蘇州燎塬半導(dǎo)體有限公司
代理機構(gòu) 北京中仟知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 田江飛
地址 215614 江蘇省蘇州市張家港市鳳凰鎮(zhèn)鳳凰大道14號（鳳凰科技創(chuàng)業(yè)園F幢6層）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種InAsxSb1?x(0≤x≤0.1)體單晶的生長裝置，該裝置采用密閉的安瓿瓶結(jié)構(gòu)，同時結(jié)合坩堝下端開口的獨特設(shè)計，既能夠抑制銻元素的揮發(fā)，又能夠?qū)崿F(xiàn)三元化合物半導(dǎo)體單晶的擇優(yōu)生長，從而成功制備出大尺寸銦砷銻體單晶。