一種加密芯片的清洗裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201811611792.0 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN109860079A 公開(kāi)(公告)日 2021-07-13
申請(qǐng)公布號(hào) CN109860079A 申請(qǐng)公布日 2021-07-13
分類號(hào) H01L21/67 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 王碩;張冬平;吳克平;李繼萍 申請(qǐng)(專利權(quán))人 蕪湖鑫芯微電子有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蕪湖思誠(chéng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 鄭直
地址 241000 安徽省蕪湖市高新區(qū)服務(wù)外包產(chǎn)業(yè)園(一期)B16-1號(hào)樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種加密芯片的清洗裝置,涉及半導(dǎo)體芯片技術(shù)領(lǐng)域,包括裝置本體,所述裝置本體的兩個(gè)側(cè)面分別開(kāi)有送料口與出料口,所述裝置本體由上蓋板和下槽體卡接而成,所述裝置本體內(nèi)設(shè)有傳送機(jī)構(gòu)和清洗機(jī)構(gòu),本發(fā)明操作便捷,通過(guò)設(shè)置傳送機(jī)構(gòu)、清洗機(jī)構(gòu)、烘干機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)了加密芯片的一體式自動(dòng)化的浸泡、清洗、淋洗和烘干過(guò)程,自動(dòng)化程度高,清洗效率高,潔凈度高,減少芯片損傷,烘干過(guò)程中,可以通過(guò)調(diào)節(jié)加熱管距離芯片的高度以及風(fēng)扇的風(fēng)速調(diào)節(jié)烘干環(huán)境,實(shí)用性高。