一種MEMS薄膜半導(dǎo)體氣敏傳感器陣列識別方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011401931.4 申請日 -
公開（公告）號 CN112557459A 公開（公告）日 2021-03-26
申請公布號 CN112557459A 申請公布日 2021-03-26
分類號 G16C20/20(2019.01)I;G01N27/12(2006.01)I;G16C20/70(2019.01)I;G01N33/00(2006.01)I;G06K9/62(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 余岑;李如意;李東風(fēng);黃志華;劉紅恩 申請（專利權(quán)）人 安徽芯核防務(wù)裝備技術(shù)股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 231400安徽省合肥市高新區(qū)望江西路800號D8樓2034號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種MEMS薄膜半導(dǎo)體氣敏傳感器陣列識別方法，包括，已知物質(zhì)建模：使用傳感器陣列對第一類已知物質(zhì)進(jìn)行采樣，在所述第一類已知物質(zhì)的揮發(fā)氣體濃度逐步上升的過程中時(shí)刻，得到n個(gè)時(shí)刻的電導(dǎo)率變化向量集合；對所述電導(dǎo)率變化向量集合進(jìn)行標(biāo)準(zhǔn)化得到標(biāo)準(zhǔn)化電導(dǎo)率變化向量集合，對所述標(biāo)準(zhǔn)化電導(dǎo)率變化向量集合進(jìn)行主元分析，獲取第一主成分向量；對所述k類已知物質(zhì)第一主成分向量進(jìn)行線性判別式分析，計(jì)算得到特征變換矩陣，獲得樣本類，存入特征數(shù)據(jù)庫中；未知物質(zhì)檢測：重復(fù)上述步驟，得到投影到特征空間的一個(gè)點(diǎn)td，計(jì)算td與所述特征數(shù)據(jù)庫中的樣本類均值的距離是否小于已有樣本聚類的分布直徑，判斷更接近哪一類氣體。??