一種金剛石拉拔模具多晶薄膜涂層拋光設備及拋光方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210370678.3 申請日 -
公開（公告）號 CN114434305A 公開（公告）日 2022-05-06
申請公布號 CN114434305A 申請公布日 2022-05-06
分類號 B24B29/02（2006.01）I;B24B47/20（2006.01）I;B24B41/06（2012.01）I;B24B57/02（2006.01）I;B24B49/02（2006.01）I;B24B27/02（2006.01）I;B24B49/16（2006.01）I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 李洪波;宮哲;雷志偉;李玉霞;張?zhí)稞?郝存明;孫瑞軒;肖磊;郭朝;王帥;張翠華;郝虎全;王騰;趙旭;劉根;王凡;馮明明;申莉竹;劉澤雨 申請（專利權）人 河北省自動化研究所有限公司
代理機構 石家莊科途知識產權代理事務所（普通合伙） 代理人 檀文禮
地址 050000河北省石家莊市橋西區(qū)友誼南大街46號河北省科學院4號樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種金剛石拉拔模具多晶薄膜涂層拋光設備，用于金剛石拉拔模具的多晶薄膜涂層不規(guī)則曲面的均勻拋光，包括工作臺、對金剛石拉拔模具進行夾持的夾持裝置，以及相對于金剛石拉拔模具進給方向可調、并柔性貼合于多晶薄膜涂層、以對多晶薄膜涂層進行拋光處理的拋光裝置；還包括噴淋于多晶薄膜涂層表面的金剛石微粉混合液，以及對金剛石微粉混合液進行混料并輸送的混料輸送裝置。本發(fā)明能夠對金剛石拉拔模具的多晶薄膜涂層，尤其是針對多晶薄膜涂層的不規(guī)則曲面進行自動、均勻拋光，加工精度高，且加工效率高，而具有較好的使用效果。本發(fā)明還涉及一種金剛石拉拔模具多晶薄膜涂層拋光方法。