一種MEMS技術的光纖連接器插芯及MPO光纖連接器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201710027928.2 申請日 -
公開（公告）號 CN106547053A 公開（公告）日 2017-03-29
申請公布號 CN106547053A 申請公布日 2017-03-29
分類號 G02B6/38(2006.01)I 分類 光學;
發(fā)明人 李四華;王文輝;鄧江東;楊忠鈺;李維 申請（專利權）人 蘇州盛維新電子科技有限公司
代理機構 - 代理人 -
地址 215123 江蘇省蘇州市蘇州工業(yè)園金雞湖大道99號納米城西北區(qū)20幢513室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種MEMS技術的MPO光纖連接器插芯和制作方法，以及由該插芯構成的MPO光纖連接器。該插芯芯片包括基底材料11和定位光纖位置的陣列定位孔12，根據MPO連接器組裝要求也可以增加連接定位桿的通孔結構13和光纖整體放置的位置孔結構14。利用上述MEMS技術制作的MPO光纖連接器插芯21，配合上插芯套22、MPO連接器的外殼23、機座24、定位座25和外圍套管26可以構成高精度高密度的MPO光纖連接器。本發(fā)明采用半導體的圖形光刻工藝，在硅材料基底的二維平面上高精度高密度的分布出光纖通道的定位孔位置，再采用MEMS技術的硅深刻蝕或濕法腐蝕工藝，在硅襯底上制作出立體形狀的定位光纖的定位孔，最后進行劃片分離出用于MPO光纖定位的插芯芯片。