一種MEMS可調(diào)諧光學(xué)驅(qū)動(dòng)器

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201420739724.3 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN204462538U 公開(kāi)（公告）日 2015-07-08
申請(qǐng)公布號(hào) CN204462538U 申請(qǐng)公布日 2015-07-08
分類(lèi)號(hào) G02B26/08(2006.01)I;G02B6/26(2006.01)I;B81B7/02(2006.01)I;B81B3/00(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I 分類(lèi) 光學(xué);
發(fā)明人 李四華;王文輝;林沁;李維;施林偉 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 蘇州盛維新電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 518000 廣東省深圳市福田區(qū)彩田路西紅荔路南中銀花園辦公樓A棟22A.B.Cb.Ca.D.E-E-8
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及一種MEMS可調(diào)諧光學(xué)驅(qū)動(dòng)器，包括基片、主變形梁、第一變形梁、第二變形梁、驅(qū)動(dòng)電極、微鏡面、散熱框架結(jié)構(gòu)、散熱折疊梁和外部固定點(diǎn)，第一變形梁和第二變形梁位于主變形梁兩端，與驅(qū)動(dòng)電極連接，為主變形梁提供底部變形支撐；散熱框架結(jié)構(gòu)與主變形梁連接但與微鏡面隔離，折疊梁散熱結(jié)構(gòu)與散熱框架及外部固定點(diǎn)相連。本實(shí)用新型的熱驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)新穎，采用了直拉直壓的變形梁設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)，對(duì)主熱變形梁進(jìn)行了支撐，同時(shí)避免了傳統(tǒng)彎曲梁的不穩(wěn)定性，并實(shí)現(xiàn)更大的驅(qū)動(dòng)位移。同時(shí)，采用散熱框架及散熱折疊梁的設(shè)計(jì)使得微鏡面不會(huì)直接與變形梁接觸，降低變形梁處的熱變化對(duì)微鏡面的溫度相關(guān)影響，增加了芯片及光衰減器的器件可靠性。