導(dǎo)電玻璃超低溫循環(huán)鍍膜裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201320510906.9 申請日 -
公開（公告）號 CN203419980U 公開（公告）日 2014-02-05
申請公布號 CN203419980U 申請公布日 2014-02-05
分類號 C23C14/35(2006.01)I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 馮新偉 申請（專利權(quán)）人 常州津通光電技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 常州市維益專利事務(wù)所 代理人 王凌霄
地址 213164 江蘇省常州市武進(jìn)高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)西湖路8號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種導(dǎo)電玻璃超低溫循環(huán)鍍膜裝置，包括鍍膜單元，所述鍍膜單元至少為首尾相連的兩個，鍍膜單元包括垂直設(shè)置的冷卻水槽、貼合設(shè)置在冷卻水槽側(cè)面的永磁鐵，與永磁鐵正面相對設(shè)置有銅質(zhì)的靶材基座，朝向永磁鐵的靶材基座內(nèi)表面設(shè)有與永磁鐵位置對應(yīng)的靶材，待鍍膜的導(dǎo)電玻璃位于永磁鐵與靶材之間，靶材基座外表面設(shè)有回旋布置的電加熱管，所述電加熱管連接有用于控制鍍膜溫度的溫控系統(tǒng)。本實用新型通過設(shè)置至少兩個首尾相連的鍍膜單元，且控制每個鍍膜單元的鍍膜溫度在160℃左右，實現(xiàn)了導(dǎo)電玻璃鍍膜時低溫一次性連續(xù)多次鍍膜，使得鍍膜后的膜層厚度達(dá)到設(shè)計要求，有效地提高和穩(wěn)定了鍍膜膜層的均勻性。