同性氣體的輸送系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201310354362.6 申請日 -
公開（公告）號 CN104373811A 公開（公告）日 2015-02-25
申請公布號 CN104373811A 申請公布日 2015-02-25
分類號 F17C7/00(2006.01)I;F17C13/04(2006.01)I;F17C13/02(2006.01)I 分類 氣體或液體的貯存或分配;
發(fā)明人 胡昌勇;何先明;王漢剛 申請（專利權）人 上海聚鼎半導體設備有限公司
代理機構 北京聯(lián)瑞聯(lián)豐知識產(chǎn)權代理事務所（普通合伙） 代理人 上海聚鼎半導體設備有限公司
地址 201600 上海市松江區(qū)新浜工業(yè)園區(qū)上虞路200-1
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了同性氣體的輸送系統(tǒng)，包括第一輸送裝置，所述的輸送系統(tǒng)還包括第二輸送裝置和第三輸送裝置，第一輸送裝置與第二輸送裝置相連、第二輸送裝置與第三輸送裝置相連。本發(fā)明提供的同性氣體的輸送系統(tǒng)，整體空間縮小，徹底消除安全隱患，實現(xiàn)連續(xù)供氣，提高產(chǎn)品質量和工藝的穩(wěn)定性，大大降低生產(chǎn)和物流成本。