同性氣體的輸送系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201320496514.1 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN203549381U 公開(kāi)（公告）日 2014-04-16
申請(qǐng)公布號(hào) CN203549381U 申請(qǐng)公布日 2014-04-16
分類號(hào) F17C7/00(2006.01)I;F17C13/04(2006.01)I;F17C13/02(2006.01)I 分類 氣體或液體的貯存或分配;
發(fā)明人 胡昌勇;何先明;王漢剛 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海聚鼎半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京聯(lián)瑞聯(lián)豐知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 上海聚鼎半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
地址 201600 上海市松江區(qū)新浜工業(yè)園區(qū)上虞路200-1號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)了同性氣體的輸送系統(tǒng)，包括第一輸送裝置，所述的輸送系統(tǒng)還包括第二輸送裝置和第三輸送裝置，第一輸送裝置與第二輸送裝置相連、第二輸送裝置與第三輸送裝置相連。本實(shí)用新型提供的同性氣體的輸送系統(tǒng)，整體空間縮小，徹底消除安全隱患，實(shí)現(xiàn)連續(xù)供氣，提高產(chǎn)品質(zhì)量和工藝的穩(wěn)定性，大大降低生產(chǎn)和物流成本。