用于真空機(jī)械手的直接驅(qū)動電動機(jī)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201210394434.5 申請日 -
公開（公告）號 CN102904409B 公開（公告）日 2016-05-18
申請公布號 CN102904409B 申請公布日 2016-05-18
分類號 H02K21/00(2006.01)I;H02K1/14(2006.01)I;H02K1/24(2006.01)I;H02K1/27(2006.01)I;H02K11/20(2016.01)I 分類 發(fā)電、變電或配電;
發(fā)明人 劉品寬 申請（專利權(quán)）人 上海微泓自動化設(shè)備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海信好專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 上海微泓自動化設(shè)備有限公司
地址 201114 上海市閔行區(qū)新駿環(huán)路189號1樓A106室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種用于真空機(jī)械手的直接驅(qū)動電動機(jī)，將電機(jī)轉(zhuǎn)子置于真空環(huán)境中，電機(jī)轉(zhuǎn)子與運(yùn)動載體直接連接實現(xiàn)直接驅(qū)動，中間省去了減速機(jī)構(gòu)；將定子置于大氣環(huán)境中，并在電機(jī)定轉(zhuǎn)子之間用真空隔離套隔開。本發(fā)明實現(xiàn)結(jié)構(gòu)簡單，精度高，轉(zhuǎn)矩大，啟動轉(zhuǎn)矩低。本發(fā)明的轉(zhuǎn)子還采用中空盤式結(jié)構(gòu)，便于實現(xiàn)真空機(jī)器人的多軸軸系的空間同軸布置，并且可使配線從中穿過；采用大間隙的結(jié)構(gòu)能夠便于實現(xiàn)轉(zhuǎn)子真空與定子大氣環(huán)境的有效隔離，更加適用于半導(dǎo)體行業(yè)。