可巨量轉(zhuǎn)移的微元件及其制作和轉(zhuǎn)移方法、顯示裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110674794.X 申請日 -
公開（公告）號 CN113284826A 公開（公告）日 2021-08-20
申請公布號 CN113284826A 申請公布日 2021-08-20
分類號 H01L21/67（2006.01）I;H01L27/15（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 江方;吳雙;馮妍雪;柯志杰;艾國齊 申請（專利權(quán)）人 廈門乾照半導(dǎo)體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 361001福建省廈門市火炬高新區(qū)（翔安）產(chǎn)業(yè)區(qū)翔天路267號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了可巨量轉(zhuǎn)移的微元件及其制作和轉(zhuǎn)移方法、顯示裝置，包括所述發(fā)光結(jié)構(gòu)包括通過溝槽相互隔離的若干個LED芯粒，且各所述LED芯粒包括外延疊層、鏈條層、絕緣保護(hù)層、第一電極及第二電極；各所述LED芯粒通過所述鍵合層嵌入所述溝槽，使所述LED芯粒倒掛懸空于所述支撐基板的上方；且所述外延疊層的局部區(qū)域蝕刻至部分所述的第一型半導(dǎo)體層形成凹槽及臺面；所述鏈條層層疊于所述臺面，并延伸至對應(yīng)LED芯粒兩側(cè)的溝槽；所述絕緣保護(hù)層覆蓋各所述LED芯粒及其對應(yīng)的鏈條層，且分別裸露各所述LED芯粒所對應(yīng)的臺面和凹槽的部分表面。