一種轉(zhuǎn)移裝置及轉(zhuǎn)移方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110171752.4 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN112992765A 公開(kāi)（公告）日 2021-06-18
申請(qǐng)公布號(hào) CN112992765A 申請(qǐng)公布日 2021-06-18
分類號(hào) H01L21/683;H01L21/67 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 江方;吳雙;馮妍雪;柯志杰;艾國(guó)齊 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 廈門乾照半導(dǎo)體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 姚璐華
地址 361100 福建省廈門市火炬高新區(qū)（翔安）產(chǎn)業(yè)區(qū)翔天路267號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種轉(zhuǎn)移裝置及轉(zhuǎn)移方法，該轉(zhuǎn)移裝置采用磁性吸附的方式實(shí)現(xiàn)對(duì)弱化結(jié)構(gòu)芯片的抓取，相比較粘結(jié)和靜電吸附的技術(shù)手段而言，其抓取穩(wěn)定性很強(qiáng)，進(jìn)而可以在弱化結(jié)構(gòu)芯片的轉(zhuǎn)移過(guò)程中提高轉(zhuǎn)移效率，最終提高產(chǎn)能。