一種外延片拉曼散射光譜數(shù)據(jù)生成方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201310648303.X 申請日 -
公開（公告）號 CN104697973B 公開（公告）日 2017-11-21
申請公布號 CN104697973B 申請公布日 2017-11-21
分類號 G01N21/65(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 嚴(yán)冬;馬鐵中;王林梓;劉健鵬 申請（專利權(quán)）人 昂坤視覺（北京）科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京華沛德權(quán)律師事務(wù)所 代理人 北京智朗芯光科技有限公司;昂坤視覺（北京）科技有限公司
地址 102206 北京市昌平區(qū)昌平路97號新元科技園B座503室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種外延片拉曼散射光譜數(shù)據(jù)生成方法，屬于半導(dǎo)體材料制造設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。該方法在石墨盤旋轉(zhuǎn)的情況下，通過控制采集數(shù)據(jù)的時間間隔及每個數(shù)據(jù)采集周期對應(yīng)的起始外延片，可以使采集的數(shù)據(jù)遍歷布設(shè)在石墨盤外周上的所有外延片，即得到布設(shè)在石墨盤外周上的所有外延片拉曼散射光譜數(shù)據(jù)，從而，本發(fā)明提供的外延片拉曼散射光譜數(shù)據(jù)生成方法能夠連續(xù)、自動生成布設(shè)在石墨盤外周上的外延片拉曼散射光譜數(shù)據(jù)。