自動(dòng)實(shí)時(shí)快速檢測(cè)晶片基底二維形貌的裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201410188236.2 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN105091788B 公開(kāi)（公告）日 2017-11-07
申請(qǐng)公布號(hào) CN105091788B 申請(qǐng)公布日 2017-11-07
分類號(hào) G01B11/25(2006.01)I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 劉健鵬;馬鐵中 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 昂坤視覺(jué)（北京）科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京華沛德權(quán)律師事務(wù)所 代理人 北京智朗芯光科技有限公司;昂坤視覺(jué)（北京）科技有限公司
地址 102206 北京市昌平區(qū)昌平路97號(hào)新元科技園B座503室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種自動(dòng)實(shí)時(shí)快速檢測(cè)晶片基底二維形貌的裝置。包括第一運(yùn)算模塊、第二運(yùn)算模塊和分析模塊，第一運(yùn)算模塊根據(jù)N個(gè)光斑的位置信號(hào)，計(jì)算晶片基底上任意兩個(gè)入射點(diǎn)之間在待測(cè)基底沿X方向的曲率CX，第二運(yùn)算模塊根據(jù)N個(gè)光斑的位置信號(hào)，計(jì)算晶片基底上任意一個(gè)入射點(diǎn)在待測(cè)基底移動(dòng)方向即Y方向的曲率CY，其中，N為3以上的自然數(shù)，N個(gè)光斑是由N束激光沿晶片基底徑向即X方向入射到晶片基底后又分別反射到與入射光一一對(duì)應(yīng)的PSD上形成的，分析模塊根據(jù)各CX、CY的計(jì)算結(jié)果，得到基底的二維形貌。該裝置能夠與高速旋轉(zhuǎn)的石墨盤上的藍(lán)寶石基底相適應(yīng)。