一種在線實時檢測外延片生長的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201310646667.4 申請日 -
公開（公告）號 CN104697972B 公開（公告）日 2017-08-29
申請公布號 CN104697972B 申請公布日 2017-08-29
分類號 G01N21/65(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 嚴冬;馬鐵中;王林梓;劉健鵬 申請（專利權）人 昂坤視覺（北京）科技有限公司
代理機構(gòu) 北京華沛德權律師事務所 代理人 北京智朗芯光科技有限公司;昂坤視覺（北京）科技有限公司
地址 102206 北京市昌平區(qū)昌平路97號新元科技園B座503室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種在線實時檢測外延片生長的方法，屬于半導體材料制造設備技術領域。該方法根據(jù)各外延片對應的實時拉曼散射光譜數(shù)據(jù)，實時分析各外延片帶隙、微結(jié)構(gòu)、組分信息，并實時反饋各外延片的波長偏差，從而在線實時檢測各外延片的生長信息。該方法參數(shù)易協(xié)調(diào)一致且實時檢測數(shù)據(jù)量明顯降低，應用本發(fā)明提供的在線實時檢測外延片生長的方法能夠減小外延片質(zhì)量差及報廢帶來的損失。