一種在線實時檢測外延片生長的裝置
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN201310651513.4 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN104697974B | 公開（公告）日 | 2017-09-12 |
| 申請公布號 | CN104697974B | 申請公布日 | 2017-09-12 |
| 分類號 | G01N21/65(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I | 分類 | 測量；測試; |
| 發(fā)明人 | 馬鐵中;嚴冬;王林梓;劉健鵬 | 申請（專利權(quán)）人 | 昂坤視覺（北京）科技有限公司 |
| 代理機構(gòu) | 北京華沛德權(quán)律師事務所 | 代理人 | 北京智朗芯光科技有限公司;昂坤視覺（北京）科技有限公司 |
| 地址 | 102206 北京市昌平區(qū)昌平路97號新元科技園B座503室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種在線實時檢測外延片生長的裝置，屬于半導體材料制造設備技術(shù)領域。該裝置MOCVD反應室、光學組件、拉曼散射光譜產(chǎn)生系統(tǒng)、拉曼散射光譜接收系統(tǒng)、數(shù)據(jù)分析系統(tǒng)、光電開關、觸發(fā)信號電路和操作電路。該裝置結(jié)構(gòu)簡單、參數(shù)易協(xié)調(diào)一致且實時檢測數(shù)據(jù)量明顯降低。 |
