一種在線實(shí)時(shí)檢測(cè)外延片溫度的裝置及方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201310651743.0 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN104697645B 公開（公告）日 2017-11-03
申請(qǐng)公布號(hào) CN104697645B 申請(qǐng)公布日 2017-11-03
分類號(hào) G01J5/52(2006.01)I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 嚴(yán)冬;馬鐵中;王林梓;劉健鵬 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 昂坤視覺（北京）科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京華沛德權(quán)律師事務(wù)所 代理人 北京智朗芯光科技有限公司;昂坤視覺（北京）科技有限公司
地址 102206 北京市昌平區(qū)昌平路97號(hào)新元科技園B座503室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種在線實(shí)時(shí)檢測(cè)外延片溫度的裝置及方法，屬于半導(dǎo)體檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域。該裝置包括MOCVD反應(yīng)腔、光源、分束器、參考光探測(cè)器、反射光探測(cè)器和數(shù)據(jù)采集單元。該方法以該裝置為基礎(chǔ)，能夠得到針對(duì)外延片的反應(yīng)腔窗口鍍膜引起的熱輻射衰減因子和反應(yīng)腔窗口鍍膜引起的反射率衰減因子。該裝置及方法能夠消除反應(yīng)腔窗口鍍膜對(duì)在線實(shí)時(shí)溫度檢測(cè)值造成的影響、提高在線實(shí)時(shí)溫度檢測(cè)值準(zhǔn)確度。