基于飛秒激光直寫的可調(diào)諧波導(dǎo)光柵濾波器及其制造方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010315538.7 申請日 -
公開（公告）號 CN113534341A 公開（公告）日 2021-10-22
申請公布號 CN113534341A 申請公布日 2021-10-22
分類號 G02B6/124（2006.01）I;G02B6/136（2006.01）I;G02B6/13（2006.01）I;G02B6/132（2006.01）I;G02B6/12（2006.01）I;G02F1/01（2006.01）I 分類 光學(xué);
發(fā)明人 訾幸壯;尹小杰;楊堃;趙青;李彩云;孫靜雯;常夏森 申請（專利權(quán)）人 河南仕佳光子科技股份有限公司
代理機構(gòu) 鄭州優(yōu)盾知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 鄭園
地址 458030河南省鶴壁市淇濱區(qū)國家經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)延河路201號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種基于飛秒激光直寫的可調(diào)諧波導(dǎo)光柵濾波器及其制造方法，包括晶圓基底，所述晶圓基底的上部設(shè)有上包層，上包層的上部依次設(shè)有電極層和引線層，且電極層和引線層的寬度均小于上包層的寬度；所述上包層內(nèi)設(shè)有波導(dǎo)芯層，且波導(dǎo)芯層上設(shè)有采用飛秒激光直寫的波導(dǎo)光柵。本發(fā)明采用石英基PLC光波導(dǎo)技術(shù)與飛秒激光直寫相結(jié)合，對現(xiàn)有的工藝進行了改進，降低了開發(fā)和工藝成本；實現(xiàn)了在晶圓上制作各種類型的光柵濾波器，通過電極層可以實現(xiàn)波長可調(diào)諧，增加了光學(xué)芯片系統(tǒng)的靈活性；通過控制飛秒激光的功率、掃描區(qū)域?qū)挾?、重?fù)掃描次數(shù)等，可以控制折射率變化的大小，實現(xiàn)了對光柵參數(shù)的精準(zhǔn)控制。