一種波導型光鑷芯片及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110812238.4 申請日 -
公開（公告）號 CN113470847A 公開（公告）日 2021-10-01
申請公布號 CN113470847A 申請公布日 2021-10-01
分類號 G21K1/00（2006.01）I;G02B6/12（2006.01）I;G02B6/13（2006.01）I 分類 核物理；核工程;
發(fā)明人 尹小杰;孫靜雯;王亮亮;常夏森 申請（專利權）人 河南仕佳光子科技股份有限公司
代理機構 鄭州優(yōu)盾知識產權代理有限公司 代理人 栗改
地址 458030河南省鶴壁市淇濱區(qū)國家經濟技術開發(fā)區(qū)延河路201號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種波導型光鑷芯片及其制備方法，包括芯片基底；芯片包層，所述芯片包層設置在芯片基底的表面上；光波導，所述光波導設置在芯片包層中，所述光波導為至少兩條，入射到至少兩條光波導的光匯聚于一點，此點即為光匯聚點；微流道，所述微流道設于光匯聚點上，所述微流道穿過芯片包層、并深入到光波導層。本發(fā)明中通過在芯片中設置光波導，能夠利用光波導進行光線傳輸，并將入射到光波導的光匯聚于一點，從而能夠對微流道中的微米或納米粒子進行光操作，在一定程度上減小了光鑷結構的體積，降低了光鑷結構的系統(tǒng)復雜度。