一種波導(dǎo)型光鑷芯片及其制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110812238.4 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113470847A 公開（公告）日 2021-10-01
申請(qǐng)公布號(hào) CN113470847A 申請(qǐng)公布日 2021-10-01
分類號(hào) G21K1/00（2006.01）I;G02B6/12（2006.01）I;G02B6/13（2006.01）I 分類 核物理；核工程;
發(fā)明人 尹小杰;孫靜雯;王亮亮;常夏森 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 河南仕佳光子科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 鄭州優(yōu)盾知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 栗改
地址 458030河南省鶴壁市淇濱區(qū)國家經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)延河路201號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種波導(dǎo)型光鑷芯片及其制備方法，包括芯片基底；芯片包層，所述芯片包層設(shè)置在芯片基底的表面上；光波導(dǎo)，所述光波導(dǎo)設(shè)置在芯片包層中，所述光波導(dǎo)為至少兩條，入射到至少兩條光波導(dǎo)的光匯聚于一點(diǎn)，此點(diǎn)即為光匯聚點(diǎn)；微流道，所述微流道設(shè)于光匯聚點(diǎn)上，所述微流道穿過芯片包層、并深入到光波導(dǎo)層。本發(fā)明中通過在芯片中設(shè)置光波導(dǎo)，能夠利用光波導(dǎo)進(jìn)行光線傳輸，并將入射到光波導(dǎo)的光匯聚于一點(diǎn)，從而能夠?qū)ξ⒘鞯乐械奈⒚谆蚣{米粒子進(jìn)行光操作，在一定程度上減小了光鑷結(jié)構(gòu)的體積，降低了光鑷結(jié)構(gòu)的系統(tǒng)復(fù)雜度。