一種基于透射電鏡表面成像的樣品厚度原位測量方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201810352666.1 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN108317988B 公開（公告）日 2020-04-21
申請(qǐng)公布號(hào) CN108317988B 申請(qǐng)公布日 2020-04-21
分類號(hào) G01B21/08 分類 測量；測試;
發(fā)明人 王巖國 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 中兆培基南京新材料技術(shù)研究院有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京經(jīng)緯專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 南京騰元軟磁有限公司;江蘇中科啟航新材料工業(yè)研究院有限公司;江蘇非晶電氣有限公司;中兆培基南京新材料技術(shù)研究院有限公司;中兆培基（北京）電氣有限公司
地址 211316 江蘇省南京市高淳經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)紫荊大道以西，秀山路以南
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種基于透射電鏡表面成像的樣品厚度原位測量方法，該測量方法通過調(diào)節(jié)透射電鏡的物鏡焦距來調(diào)控物鏡取景深度和高精度操縱樣品移動(dòng)來準(zhǔn)確調(diào)控樣品與物鏡的距離，利用物鏡有限的取景深度和樣品表面區(qū)域處于物鏡取景位置來強(qiáng)化樣品表面結(jié)構(gòu)信息的同時(shí)弱化樣品內(nèi)部結(jié)構(gòu)信息，分別對(duì)樣品的上、下表面進(jìn)行成像，并利用上、下表面成像時(shí)樣品移動(dòng)的距離獲得樣品的厚度，實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品厚度的原位測量，從而有效評(píng)價(jià)材料或器件的性能。本發(fā)明在對(duì)樣品厚度進(jìn)行原位測量時(shí)不受樣品結(jié)構(gòu)、厚度和成分限制，具體實(shí)施簡便、效率高、成本低、可操控性和重復(fù)性強(qiáng)、技術(shù)可靠性高等特點(diǎn)，適合于固體表面研究領(lǐng)域的廣泛應(yīng)用。