一種基于透射電鏡的樣品表面結(jié)構成像方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201810352660.4 申請日 -
公開（公告）號 CN108593690B 公開（公告）日 2020-12-15
申請公布號 CN108593690B 申請公布日 2020-12-15
分類號 G01N23/20008;G01N23/04 分類 測量；測試;
發(fā)明人 王巖國 申請（專利權）人 中兆培基南京新材料技術研究院有限公司
代理機構 南京經(jīng)緯專利商標代理有限公司 代理人 中兆培基南京新材料技術研究院有限公司;江蘇中科啟航新材料工業(yè)研究院有限公司;中兆培基（北京）電氣有限公司;江蘇非晶電氣有限公司;南京騰元軟磁有限公司
地址 211316 江蘇省南京市高淳經(jīng)濟開發(fā)區(qū)紫荊大道以西，秀山路以南
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及材料表面結(jié)構表征技術領域，公開了一種基于透射電鏡的樣品表面結(jié)構成像方法，包括：制備透射電鏡樣品；獲得樣品的低放大倍數(shù)圖像；獲得樣品表面結(jié)構的高放大倍數(shù)圖像。該方法通過調(diào)節(jié)透射電鏡物鏡焦距來調(diào)控物鏡取景深度和取景位置，利用物鏡取景位置和有限的取景深度來強化樣品表面結(jié)構信息的同時弱化樣品內(nèi)部結(jié)構信息，進而簡單、快速并準確的獲得真實反應樣品表面結(jié)構的透射電鏡圖像，從而有效評價材料或器件的性能。本發(fā)明具有實施成本低、效率高、可操控性和重復性強、技術可靠性高等特點，適合于在固體表面研究領域的廣泛應用。