測試結(jié)構(gòu)及其測試方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010088655.4 申請日 -
公開（公告）號 CN113257788A 公開（公告）日 2021-08-13
申請公布號 CN113257788A 申請公布日 2021-08-13
分類號 H01L23/544;H01L45/00;G01R27/08 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 廖昱程;劉峻志;張雄世;張明豐 申請（專利權(quán)）人 江蘇時代芯存半導(dǎo)體有限公司
代理機構(gòu) 上海盈盛知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 孫佳胤;董琳
地址 223300 江蘇省淮安市淮陰區(qū)長江東路601號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種測試結(jié)構(gòu)及其測試方法，所述測試結(jié)構(gòu)包括：第一子測試結(jié)構(gòu)，包括第一串聯(lián)結(jié)構(gòu)，所述第一串聯(lián)結(jié)構(gòu)包括第一加熱器，以及位于所述第一加熱器頂部表面的第一相變層，所述第一加熱器的電阻值為待測阻值；第二子測試結(jié)構(gòu)，包括第二串聯(lián)結(jié)構(gòu)，所述第二串聯(lián)結(jié)構(gòu)包括第二加熱器，以及位于所述第二加熱器頂部表面的第二相變層，所述第二相變層與所述第一相變層的阻值相同，所述第二加熱器的阻值與所述第一加熱器的阻值之比小于設(shè)定值；以及所述第一子測試結(jié)構(gòu)和第二子測試結(jié)構(gòu)內(nèi)的電連接線路的電阻相同。上述測試結(jié)構(gòu)及其測試方法能夠準(zhǔn)確測量相變存儲單元內(nèi)加熱器的阻值。