一種大氣壓直流弧放電等離子體發(fā)生裝置及陰極制作方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201010171594.4 申請日 -
公開（公告）號 CN102244971A 公開（公告）日 2011-11-16
申請公布號 CN102244971A 申請公布日 2011-11-16
分類號 H05H1/34(2006.01)I;H05H1/28(2006.01)I 分類 其他類目不包含的電技術(shù);
發(fā)明人 芶富均;呂曉丹 申請（專利權(quán)）人 貴州翔明科技有限責任公司
代理機構(gòu) 貴陽中新專利商標事務(wù)所 代理人 貴州翔明科技有限責任公司
地址 550022 貴州省貴陽市高新區(qū)長嶺南路留學(xué)人員創(chuàng)業(yè)園A4棟
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種大氣壓直流弧放電等離子體發(fā)生裝置及陰極制作方法，其特征在于：在制作大氣壓直流弧放電等離子體發(fā)生裝置時，在該裝置上至少制作兩個陰極，將其中一個陰極采用LaB6（六硼化物）材料制作，而其它的陰極采用鎢金屬材料制作，并且采用直流電源作為大氣壓直流弧放電等離子體發(fā)生裝置。本發(fā)明不僅既能降低產(chǎn)生等離子體的功率、同時又能保證產(chǎn)生高密度等離子體的優(yōu)點，而且還具有電源能量轉(zhuǎn)換率高、操作和維護都方便、使用壽命長、設(shè)備簡單等優(yōu)點。本發(fā)明特別適合進行快速薄膜沉積使用。