一種大氣壓直流弧放電等離子體發(fā)生裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201210317577.6 申請日 -
公開（公告）號 CN102833936A 公開（公告）日 2012-12-19
申請公布號 CN102833936A 申請公布日 2012-12-19
分類號 H05H1/28(2006.01)I 分類 其他類目不包含的電技術(shù);
發(fā)明人 呂曉丹;芶富均 申請（專利權(quán)）人 貴州翔明科技有限責(zé)任公司
代理機(jī)構(gòu) 貴陽中新專利商標(biāo)事務(wù)所 代理人 貴州翔明科技有限責(zé)任公司
地址 550000 貴州省貴陽市高新區(qū)長嶺南路留學(xué)人員創(chuàng)業(yè)園A4棟
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種大氣壓直流弧放電等離子體發(fā)生裝置，包括放電腔室，在放電腔室的上方設(shè)有LaB6陰極和鎢陰極，在放電腔室的頂部、LaB6陰極與鎢陰極之間設(shè)有與工作氣體源連接的氣體源接口，在放電腔室的底部設(shè)有絕緣層，在絕緣層下設(shè)有水冷板，在水冷板的下方安裝有設(shè)有陽極噴嘴的陽極，在LaB6陰極、鎢陰極和陽極上設(shè)有與直流電源連接的接頭，在絕緣層和水冷板中設(shè)有能使陽極與放電腔室相同的通道。本發(fā)明不僅具有既能降低產(chǎn)生等離子體的功率、同時又能保證產(chǎn)生高密度等離子體的優(yōu)點(diǎn)，而且還具有電源能量轉(zhuǎn)換率高、操作和維護(hù)都方便、使用壽命長、設(shè)備簡單等優(yōu)點(diǎn)。本發(fā)明特別適合進(jìn)行快速薄膜沉積使用。