一種真空冷卻裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201520975212.1 申請日 -
公開（公告）號 CN205172873U 公開（公告）日 2016-04-20
申請公布號 CN205172873U 申請公布日 2016-04-20
分類號 F04B37/08(2006.01)I 分類 液體變?nèi)菔綑C(jī)械；液體泵或彈性流體泵;
發(fā)明人 張小飛;張殷;鄧琪;王靜輝 申請（專利權(quán)）人 上海中科澳譜光電器件有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 201815 上海市嘉定區(qū)匯善路685號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種真空冷卻裝置，包括一個真空室和冷凝泵，其中，與真空室出口端設(shè)置一個緩沖管，在所述緩沖管的一端設(shè)置一個冷井，所述冷井連接一個冷井壓縮機(jī)。在所述冷井與緩沖管之間設(shè)置一個閥門。其中，在所述冷凝泵的一端設(shè)置冷凝泵壓縮機(jī)。所述真空室是圓形的。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是：該結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理，結(jié)構(gòu)簡單，設(shè)置了緩沖管和冷井，減緩了溫度的降低速度，簡化了工藝，延長了設(shè)備的使用壽命。