高純度砷烷提純及收集裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111175353.1 申請日 -
公開（公告）號 CN113694554A 公開（公告）日 2021-11-26
申請公布號 CN113694554A 申請公布日 2021-11-26
分類號 B01D3/14（2006.01）I;B01D53/00（2006.01）I 分類 一般的物理或化學的方法或裝置;
發(fā)明人 候星成;任少科;張澈;于楓;蘇耀華 申請（專利權）人 中昊光明化工研究設計院有限公司
代理機構 北京高沃律師事務所 代理人 李勝強
地址 116031遼寧省大連市普灣新區(qū)松木島化工園區(qū)沐百路21號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種高純度砷烷提純及收集裝置，包括精餾塔塔釜、精餾塔和管路系統(tǒng)。其中，精餾塔塔釜用于將液相砷烷加熱蒸發(fā)，精餾塔塔釜具有加熱循環(huán)器。精餾塔用于將氣相砷烷冷凝，精餾塔具有冷凝器，精餾塔的入口與精餾塔塔釜的出口連通。管路系統(tǒng)用于監(jiān)測并收集含有砷烷的不凝汽。相比于現有技術，本發(fā)明采用分離效果更好的精餾塔純化砷烷，并且通過在管路系統(tǒng)上設置終端純化器和過濾器對砷烷進一步純化，同時利用在線分析儀實時監(jiān)測砷烷純度，能夠將砷烷粗品精制到高純級別，并且能夠達到連續(xù)收集的效果，提高了生產效率。