一種出光波長(zhǎng)可調(diào)的垂直腔面發(fā)射激光器

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201922210375.1 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN210074421U 公開(kāi)（公告）日 2020-02-14
申請(qǐng)公布號(hào) CN210074421U 申請(qǐng)公布日 2020-02-14
分類號(hào) H01S5/183;H01S5/06 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 李邁克 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 中證博芯（重慶）半導(dǎo)體有限公司
代理機(jī)構(gòu) 重慶信航知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 中證博芯（重慶）半導(dǎo)體有限公司
地址 401573 重慶市合川區(qū)草街街道嘉合大道500號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供一種出光波長(zhǎng)可調(diào)的垂直腔面發(fā)射激光器，包括襯底基板，襯底基板底面形成有VCSEL陰極層，襯底基板表面順序形成有高反射率的下DBR層、有源區(qū)域、氧化限制層和高反射率的上DBR層，氧化限制層和上DBR層之間設(shè)置有液晶盒層，液晶盒層包括順序?qū)盈B的液晶陽(yáng)極、液晶盒和液晶陰極，液晶陽(yáng)極形成在氧化限制層表面，液晶盒包括相對(duì)配置的下取向?qū)雍蜕先∠驅(qū)蛹霸O(shè)置在上下取向?qū)舆吘壍姆饪蚰z，液晶盒體內(nèi)灌注有液晶和散布有隔離球，液晶陰極形成在上取向?qū)颖砻娌⑴c上DBR層底面接觸。本申請(qǐng)通過(guò)改變液晶陽(yáng)極和液晶陰極之間電壓的方式，進(jìn)而改變液晶本身的折射系數(shù)最終可調(diào)節(jié)VCSEL出光波長(zhǎng)，進(jìn)而能夠?qū)崿F(xiàn)更低成本的VSCEL，具有廣泛應(yīng)用范圍。