光柵衍射效率測試裝置及方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210253223.3 申請日 -
公開（公告）號 CN114720093A 公開（公告）日 2022-07-08
申請公布號 CN114720093A 申請公布日 2022-07-08
分類號 G01M11/02（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 付大為;王亞蘭;劉景濤 申請（專利權(quán)）人 北京華卓精科科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京薈英捷創(chuàng)知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 -
地址 100176北京市大興區(qū)北京經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)科創(chuàng)十街19號院2號樓2層（北京自貿(mào)試驗(yàn)區(qū)高端產(chǎn)業(yè)片區(qū)亦莊組團(tuán)）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種光柵衍射效率測試裝置及方法，涉及光柵衍射效率測量領(lǐng)域，為解決現(xiàn)有光柵衍射效率的掃描范圍有限的問題而設(shè)計(jì)。該光柵衍射效率測試裝置包括光源、測量頭、移動組件以及用于放置待測光柵的樣品臺；測量頭安裝于移動組件，移動組件用于帶動測量頭在待測光柵的平行平面線性移動，樣品臺至少具有第一位置和第二位置，第一位置和第二位置具有繞Z向的相位差，Z向垂直于待測光柵；測量頭用于接收光源發(fā)出的光束并將該光束以設(shè)定角度照射至待測光柵，以及接收由待測光柵衍射返回的光束。本發(fā)明可實(shí)現(xiàn)對待測光柵的全幅面衍射效率測試，有效解決了現(xiàn)有測試裝置掃描范圍有限的問題。