靜電卡盤及其制造方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202011546581.0 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN114664723A | 公開（公告）日 | 2022-06-24 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN114664723A | 申請(qǐng)公布日 | 2022-06-24 |
| 分類號(hào) | H01L21/683（2006.01）I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 楊鵬遠(yuǎn);王建沖;張玉利;侯占杰;王超星;黎遠(yuǎn)成;何宏慶;樊文鳳;唐娜娜 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 北京華卓精科科技股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京薈英捷創(chuàng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 100176北京市大興區(qū)北京經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)科創(chuàng)十街19號(hào)院2號(hào)樓2層（北京自貿(mào)試驗(yàn)區(qū)高端產(chǎn)業(yè)片區(qū)亦莊組團(tuán)） | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供一種靜電卡盤及其制造方法，涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域。該靜電卡盤包括絕緣基板、電極層及介電層；絕緣基板開設(shè)有通孔，用于引出電極連接線；電極層固定設(shè)置于絕緣基板，電極層包括兩個(gè)電極，兩個(gè)電極均呈梳型，且兩個(gè)電極的一級(jí)梳齒交錯(cuò)設(shè)置，各一級(jí)梳齒均設(shè)置有多個(gè)二級(jí)梳齒，相鄰兩個(gè)一級(jí)梳齒的二級(jí)梳齒亦交錯(cuò)設(shè)置；介電層固定設(shè)置于電極層以及絕緣基板設(shè)置有電極層的表面的裸露部分，介電常數(shù)范圍為4?6。該靜電卡盤中，電極層能夠產(chǎn)生交錯(cuò)分布的高密度的不均勻靜電場(chǎng)，介電層能夠承受較高的靜電電壓，所以，該靜電卡盤能夠以足夠大的靜電力對(duì)晶圓的多個(gè)不同位置進(jìn)行吸附，從而能夠較好地吸附高電阻材質(zhì)和/或大翹曲的襯底的晶圓。 |
