一種晶圓承載吸盤

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202220379736.4 申請日 -
公開（公告）號 CN216928533U 公開（公告）日 2022-07-08
申請公布號 CN216928533U 申請公布日 2022-07-08
分類號 H01L21/683（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 李帥龍;白龍 申請（專利權）人 北京華卓精科科技股份有限公司
代理機構 北京頭頭知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 -
地址 100176北京市大興區(qū)北京經(jīng)濟技術開發(fā)區(qū)科創(chuàng)十街19號院2號樓2層（北京自貿(mào)試驗區(qū)高端產(chǎn)業(yè)片區(qū)亦莊組團）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及集成電路技術領域，具體為一種晶圓承載吸盤。一種晶圓承載吸盤，由聚合材料板和襯底相互粘接而成，所述聚合材料板和襯底的上下接觸面的平面度和平行度均不少于0.01；所述晶圓承載吸盤的外側邊緣上分布有至少一個間隔塊組件和至少一個夾緊塊組件，所述晶圓承載吸盤的外側邊緣上還設有槽口定位塊和滾動軸承；所述晶圓承載吸盤的中部設有至少一個襯套；所述聚合材料板的中部開設包括“十”字形的氣道。本實用新型的晶圓承載吸盤能夠廣泛應用于12寸晶圓及相關同類的拋光晶圓的承載平面，使得晶圓在傳送到單元時，能夠在該承載吸盤上進行工藝腔室的相關工藝過程。