微動(dòng)臺(tái)相對(duì)于粗動(dòng)臺(tái)的位置精密測(cè)量裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202220298687.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN216925506U | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-07-08 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN216925506U | 申請(qǐng)公布日 | 2022-07-08 |
| 分類(lèi)號(hào) | G01B21/00（2006.01）I | 分類(lèi) | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 張志剛;王利臣 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 北京華卓精科科技股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京頭頭知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 100176北京市大興區(qū)北京經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)科創(chuàng)十街19號(hào)院2號(hào)樓2層（北京自貿(mào)試驗(yàn)區(qū)高端產(chǎn)業(yè)片區(qū)亦莊組團(tuán)） | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型涉及一種微動(dòng)臺(tái)相對(duì)于粗動(dòng)臺(tái)位置精密測(cè)量裝置，屬于精密測(cè)量技術(shù)領(lǐng)域。本實(shí)用新型的目的是提供一種測(cè)量精度更高、結(jié)構(gòu)更協(xié)調(diào)的微動(dòng)臺(tái)相對(duì)于粗動(dòng)臺(tái)的位置精密測(cè)量裝置，所述微動(dòng)臺(tái)由微動(dòng)臺(tái)驅(qū)動(dòng)電機(jī)驅(qū)動(dòng)，所述微動(dòng)臺(tái)驅(qū)動(dòng)電機(jī)包括動(dòng)子及定子，還包括至少一個(gè)垂向標(biāo)靶、至少一個(gè)水平標(biāo)靶及至少一個(gè)位置傳感器，所述垂向標(biāo)靶及所述水平標(biāo)靶均設(shè)置于所述定子上，所述垂向標(biāo)靶呈環(huán)狀間隔設(shè)置，所述水平標(biāo)靶呈環(huán)狀間隔布置，所述垂向標(biāo)靶位于外環(huán)，所述水平標(biāo)靶位于內(nèi)環(huán)，所述位置傳感器均設(shè)置于所述定子上，所述位置傳感器分別靠近所述垂向標(biāo)靶或所述水平標(biāo)靶設(shè)置，所述位置傳感器用于測(cè)得靠近所述位置傳感器的所述垂向標(biāo)靶或所述水平標(biāo)靶的位置信息。 |
