光波導(dǎo)放大器及其制作方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111520608.3 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN114221204A 公開（公告）日 2022-03-22
申請(qǐng)公布號(hào) CN114221204A 申請(qǐng)公布日 2022-03-22
分類號(hào) H01S3/067（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 周佩奇;肖希;王磊 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 武漢郵電科學(xué)研究院有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京派特恩知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 徐雯;蔣雅潔
地址 430074湖北省武漢市東湖新技術(shù)開發(fā)區(qū)關(guān)山街郵科院路88號(hào)1幢1-3層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本公開實(shí)施例公開了一種光波導(dǎo)放大器及其制作方法，所述光波導(dǎo)放大器包括：襯底；位于所述襯底上、且沿平行于所述襯底的第一方向并列排布的至少兩個(gè)光波導(dǎo)；其中，相鄰的兩個(gè)所述光波導(dǎo)之間具有間隙；位于所述間隙內(nèi)的、摻雜稀土元素的摻雜介質(zhì)層；其中，在垂直于所述襯底的第二方向上，所述摻雜介質(zhì)層的高度大于或者等于所述光波導(dǎo)的高度；所述摻雜介質(zhì)層的折射率小于所述光波導(dǎo)的折射率；石墨烯層，覆蓋并接觸所述摻雜介質(zhì)層；第一電極，與所述石墨烯層電連接；第二電極，與所述襯底接觸。