一種柔性壓力傳感器及其制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201610953914.9 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN106441646B 公開（公告）日 2019-05-21
申請(qǐng)公布號(hào) CN106441646B 申請(qǐng)公布日 2019-05-21
分類號(hào) G01L1/18（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 劉瑞; 袁妍妍; 王小京 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 鹽城易動(dòng)科技服務(wù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京經(jīng)緯專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 江蘇科技大學(xué);鹽城易動(dòng)科技服務(wù)有限公司;鹽城市鹽南高新區(qū)西伏河數(shù)字智能產(chǎn)業(yè)發(fā)展有限公司
地址 224000 江蘇省鹽城市鹽南高新區(qū)新躍路26號(hào)大數(shù)據(jù)產(chǎn)業(yè)園南區(qū)1號(hào)樓4樓北區(qū)（CNK）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種柔性壓力傳感器，包括柔性襯底、柔性上蓋和間隔設(shè)置在所述柔性襯底和所述柔性上蓋之間的電極，所述電極之間設(shè)置包含有半導(dǎo)體電阻和導(dǎo)電溝道的電路。本發(fā)明由于采用微納米加工技術(shù)結(jié)合現(xiàn)代印刷電子技術(shù)，可在純?nèi)嵝砸r底上實(shí)現(xiàn)惠斯通電橋式壓力傳感器的構(gòu)建，避免傳統(tǒng)半導(dǎo)體工藝制備硬質(zhì)襯底(如硅)壓力傳感器的工藝流程復(fù)雜、高溫工藝影響大等方面的缺陷，實(shí)現(xiàn)柔性傳感器的一體化制備。通過(guò)采用微納米加工技術(shù)、現(xiàn)代印刷電子技術(shù)、納米碳材料和聚合物材料等相結(jié)合，在柔性襯底上制備具有惠斯通電橋結(jié)構(gòu)式的柔性壓力傳感器，其制備工藝簡(jiǎn)單、成本較低、性能良好、適于規(guī)?；a(chǎn)。