一種制備炭材料的化學(xué)氣相沉積設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121398198.5 申請日 -
公開（公告）號 CN215365974U 公開（公告）日 2021-12-31
申請公布號 CN215365974U 申請公布日 2021-12-31
分類號 C23C16/26（2006.01）I;C23C16/50（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 林巍;羅雪;丁潔 申請（專利權(quán)）人 廈門中材航特科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廈門市新華專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 盧麗紅
地址 361000福建省廈門市火炬高新區(qū)軟件園創(chuàng)新大廈C區(qū)3F-A484
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種制備炭材料的化學(xué)氣相沉積設(shè)備，設(shè)備內(nèi)設(shè)有混氣罐及沉積室，工件放置于沉積室內(nèi)，碳源氣體及惰性載氣在混氣罐中混合后通入沉積室，混氣罐前側(cè)加裝有可對碳源氣體進(jìn)行電弧加熱并電離的真空電弧發(fā)生器，經(jīng)電弧加熱并電離的碳源氣體進(jìn)入混氣罐后和惰性載氣混合。本實(shí)用新型可令碳源氣體將變得易裂解，從而提高碳源氣體使用率，有效的降低炭黑、焦油等副產(chǎn)物的生成。