單光子雪崩二極管裝置、圖像感測裝置及激光雷達(dá)系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111109269.X 申請日 -
公開(公告)號 CN113838879A 公開(公告)日 2021-12-24
申請公布號 CN113838879A 申請公布日 2021-12-24
分類號 H01L27/146(2006.01)I;H01L31/0232(2014.01)I;H01L31/107(2006.01)I;G01S7/481(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 呂京叡;呂京穎;李爽 申請(專利權(quán))人 深圳市靈明光子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳市深佳知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 陳彥如
地址 518000廣東省深圳市南山區(qū)桃源街道福光社區(qū)留仙大道3370號南山智園崇文園區(qū)3號樓1201
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請公開一種單光子雪崩二極管裝置、圖像感測裝置及激光雷達(dá)系統(tǒng),其中,單光子雪崩二極管裝置包括第一半導(dǎo)體區(qū)、第二半導(dǎo)體區(qū)、微透鏡和反射器陣列,第二半導(dǎo)體區(qū)覆蓋第一半導(dǎo)體區(qū),微透鏡覆蓋第二半導(dǎo)體區(qū)。第二半導(dǎo)體區(qū)包括第一隔離結(jié)構(gòu)、第二隔離結(jié)構(gòu)和吸收區(qū);第二隔離結(jié)構(gòu)在第一方向上相對于第一隔離結(jié)構(gòu)對準(zhǔn);吸收區(qū)覆蓋第一半導(dǎo)體區(qū)。反射器陣列包括第一反射器組和第二反射器組,第一反射器組和第二反射器組均包括多個反射器;第一反射器組位于第一半導(dǎo)體區(qū),且第一反射器組位于第二反射器組和吸收區(qū)之間。本申請可有效提升單光子雪崩二極管裝置性能,提升SPAD傳感器的檢測性能。