從晶片切割砂漿中分離出切割液、碳化硅和硅粉的方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201210194054.7 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN102851110B 公開（公告）日 2013-12-11
申請(qǐng)公布號(hào) CN102851110B 申請(qǐng)公布日 2013-12-11
分類號(hào) C10M175/00(2006.01)I;C08G65/34(2006.01)I;C01B31/36(2006.01)I;C01B33/037(2006.01)I 分類 石油、煤氣及煉焦工業(yè)；含一氧化碳的工業(yè)氣體；燃料；潤(rùn)滑劑；泥煤;
發(fā)明人 王彭;王祎 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 江蘇大陽光輔股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 江陰大田知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 江蘇大陽光輔股份有限公司
地址 214400 江蘇省無錫市江陰市徐霞客鎮(zhèn)金鳳工業(yè)園中盛路2號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了從晶片切割砂漿中分離出切割液、碳化硅和硅粉的方法，該方法工藝步驟包括：固液分離，用乙醇清洗分離出來的固體，再用純水洗滌甩干，然后用激光粒度儀測(cè)定硅粉和碳化硅/金屬混合物的粒度組成和分布狀態(tài)，并用X射線衍射精密測(cè)定各組成部分的質(zhì)量比，將測(cè)得的數(shù)據(jù)通過臥螺沉降離心機(jī)分選參數(shù)，由臥螺沉降離心機(jī)將砂粉初步分離成主要為碳化硅和鐵粗粉、主要為碳化硅和硅的中粉和主要為硅的細(xì)粉，再將中粉加入電泳池，將電泳池上的電極加電，在電場(chǎng)作用下使碳化硅粉沉淀而硅粉上浮，再將沉淀后的碳化硅砂粉及粗粉進(jìn)行堿洗和磁選除鐵，然后水洗甩干。該工藝突破了現(xiàn)有廢砂漿處理中超細(xì)顆粒的分離技術(shù)，并綜合處理解決現(xiàn)有污染問題。