一種具有調(diào)節(jié)功能的石墨烯化學(xué)氣相反應(yīng)沉積裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201820319043.X 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN208378996U 公開（公告）日 2019-01-15
申請(qǐng)公布號(hào) CN208378996U 申請(qǐng)公布日 2019-01-15
分類號(hào) C23C16/26;C23C16/455;C23C16/52 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 馮云 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 長泰惠龍新材料科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳市漢唐知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 長泰惠龍新材料科技有限公司
地址 363900 福建省漳州市長泰縣武安鎮(zhèn)錦江小區(qū)95號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及一種具有調(diào)節(jié)功能的石墨烯化學(xué)氣相反應(yīng)沉積裝置，包括底座、控制器、動(dòng)力機(jī)構(gòu)、爐體、排氣管和兩個(gè)導(dǎo)氣機(jī)構(gòu)，導(dǎo)氣機(jī)構(gòu)包括儲(chǔ)氣罐、導(dǎo)氣管、導(dǎo)氣室和入氣管，導(dǎo)氣組件包括導(dǎo)氣軸、驅(qū)動(dòng)組件、第一錐齒輪、兩個(gè)扇葉和兩個(gè)套管，驅(qū)動(dòng)組件包括驅(qū)動(dòng)塊、轉(zhuǎn)盤、轉(zhuǎn)軸、第二錐齒輪、調(diào)節(jié)框和調(diào)節(jié)單元，排氣機(jī)構(gòu)包括往復(fù)組件、第一電機(jī)、第一驅(qū)動(dòng)軸和兩個(gè)清潔組件，該具有調(diào)節(jié)功能的石墨烯化學(xué)氣相反應(yīng)沉積裝置通過導(dǎo)氣機(jī)構(gòu)控制進(jìn)入爐體內(nèi)的反應(yīng)氣體的流量，使反應(yīng)氣體以合適的比例進(jìn)入爐體內(nèi)，提高反應(yīng)效率，不僅如此，利用排氣機(jī)構(gòu)清除排氣管內(nèi)壁上堆積的雜質(zhì)，使廢氣順利從排氣口流出，使石墨烯的制備更為安全可靠，提高了設(shè)備的實(shí)用性。