一種懸臂梁式光學(xué)MEMS壓力傳感器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202021267336.1 申請日 -
公開（公告）號 CN212567744U 公開（公告）日 2021-02-19
申請公布號 CN212567744U 申請公布日 2021-02-19
分類號 G01L1/04(2006.01)I;G01L5/00(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 吳迅奇;李偉偉 申請（專利權(quán)）人 上海拜安傳感技術(shù)有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 201200上海市浦東新區(qū)中國(上海)自由貿(mào)易試驗區(qū)蔡倫路150號4號樓4樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種懸臂梁式光學(xué)MEMS壓力傳感器，包括懸臂梁結(jié)構(gòu)和傳感器防護殼，所述懸臂梁結(jié)構(gòu)的上方設(shè)有由兩個受電弓碳滑板托架組成U型托架，懸臂梁結(jié)構(gòu)梁臂和底座之間有一定的縫隙，縫隙在靠近懸臂梁結(jié)構(gòu)根部位置一直到U型托架之前是1mm，從U型托架到遠離懸臂梁結(jié)構(gòu)根部的位置的縫隙保持1.5mm，懸臂梁結(jié)構(gòu)上還安裝有MEMS光學(xué)壓力敏感芯片，傳感器防護殼通過螺釘固定在懸臂梁結(jié)構(gòu)上，本實用新型傳感器件是在不改變受電弓本身力學(xué)結(jié)構(gòu)的基礎(chǔ)上進行加裝的，且利于組裝和拆卸，因此可以大批量地列裝在運營列車的受電弓上，實時監(jiān)測弓網(wǎng)之間的工作狀態(tài)，保障安全運營。??