電子級(jí)氫氟酸的連續(xù)化制備系統(tǒng)及方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110755055.3 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113651294A 公開（公告）日 2021-11-16
申請(qǐng)公布號(hào) CN113651294A 申請(qǐng)公布日 2021-11-16
分類號(hào) C01B7/19（2006.01）I;B01D3/28（2006.01）I;B01D3/32（2006.01）I;B01D53/18（2006.01）I;B01D53/14（2006.01）I;B01J19/00（2006.01）I 分類 無(wú)機(jī)化學(xué);
發(fā)明人 張亮亮;周黎旸;初廣文;童繼紅;陳建峰;陳剛;孫寶昌;賀輝龍;趙曉亞;張一棟 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 巨化集團(tuán)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京正理專利代理有限公司 代理人 趙曉丹
地址 100029北京市朝陽(yáng)區(qū)北三環(huán)東路15號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種電子級(jí)氫氟酸的連續(xù)化制備系統(tǒng)及方法，半導(dǎo)體器件的制備過(guò)程采用特殊工藝生產(chǎn)的電子級(jí)氟化氫進(jìn)行蝕刻和清洗，本申請(qǐng)的電子級(jí)氟化氫，利用亞氟/氟氣協(xié)同氧化效應(yīng)結(jié)合超重力氧化反應(yīng)/分離耦合強(qiáng)化技術(shù)，將原料中雜質(zhì)離子深度氧化，顯著降低雜質(zhì)離子含量。根據(jù)工業(yè)試驗(yàn)結(jié)果，采用本發(fā)明的系統(tǒng)和方法生產(chǎn)得到的電子級(jí)氫氟酸中雜質(zhì)含量小于3ppt，As、Fe、Ca、B等雜質(zhì)元素含量均較當(dāng)前主流工藝減少10倍以上，其中最主要雜質(zhì)As的含量降低至0.001ug/L以下，相較于當(dāng)前主流工藝減少200倍以上。