一種微波等離子體設(shè)備自動(dòng)控壓裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202021508488.6 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN213298979U | 公開（公告）日 | 2021-05-28 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN213298979U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-05-28 |
| 分類號(hào) | F16K31/04(2006.01)I;F16K37/00(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 張?zhí)祚?張軍安;朱海洋;張冠群;李大栓;何小兵 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 寧波晶鉆科技股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 寧波聚禾專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 糜婧 |
| 地址 | 315000浙江省寧波市鎮(zhèn)海區(qū)莊市街道中官西路777號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型涉及一種微波等離子體設(shè)備自動(dòng)控壓裝置，包括連接在真空泵與微波等離子體設(shè)備的真空腔之間的微調(diào)閥，還包括與微調(diào)閥相連以調(diào)節(jié)微調(diào)閥開合度的動(dòng)作模塊、與動(dòng)作模塊相連以控制動(dòng)作模塊動(dòng)作的控制模塊、與控制模塊相連用以輸入操作指令的操作模塊以及用以將真空腔內(nèi)氣壓值反饋至控制模塊的反饋模塊。采用該裝置進(jìn)行控壓自動(dòng)化程度高、控制精度好并且操作非常方便。?? |
