一種鍺鏡片的清洗方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110310393.6 申請日 -
公開(公告)號 CN112958539A 公開(公告)日 2021-06-15
申請公布號 CN112958539A 申請公布日 2021-06-15
分類號 B08B3/12(2006.01)I;B08B13/00(2006.01)I 分類 清潔;
發(fā)明人 原清海;付秀華;謝雨江;王奔;林兆文;黃海昆;張程;王蓉;劉天倫 申請(專利權(quán))人 上海米蜂激光科技有限公司
代理機構(gòu) 北京清大紫荊知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 李思瓊;馮振華
地址 200136上海市浦東新區(qū)泥城鎮(zhèn)飛渡路55號3幢廠房A、B單元
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本公開實施例中提供了一種鍺鏡片的清洗方法,包括:將鍺鏡片在頻率為30?80kHz的超聲波中配合溶劑進行多次清洗,再將超聲波清洗完成后的鍺鏡片在頻率高于800kHz的兆聲波中進行清洗。本發(fā)明的清洗方法實現(xiàn)了對小尺寸鍺鏡片的高效、高潔凈度的超聲清洗,在實現(xiàn)鍺鏡片高潔凈度清洗的同時避免了超聲波過度清洗對鍺鏡片元件造成的表面損傷和材料損傷。