一種干膜光阻冷卻系統
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202021252240.8 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN212949625U | 公開（公告）日 | 2021-04-13 |
| 申請公布號 | CN212949625U | 申請公布日 | 2021-04-13 |
| 分類號 | B32B37/08(2006.01)I | 分類 | 層狀產品; |
| 發(fā)明人 | 黃文軍;蔡政斌;張輝;祁丹 | 申請（專利權）人 | 長興電子（蘇州）有限公司 |
| 代理機構 | 蘇州隆恒知識產權代理事務所（普通合伙） | 代理人 | 周子軼 |
| 地址 | 215000江蘇省蘇州市高新區(qū)滸墅關鎮(zhèn)華橋路2號 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實用新型公開了一種干膜光阻冷卻系統，包括冷卻室、傳送機構、風機和冷卻裝置。冷卻室沿預設水平方向相對的兩端分別設有進料口和出料口，冷卻室的上端設有吹風單元，冷卻室的底端設有排風單元，吹風單元靠近進料口設置，排風單元靠近出料口處設置。傳送機構輸入端設于進料口處，傳送機構輸出端沿預設水平方向向冷卻室的內部延伸至出料口處。風機設于冷卻室外部，風機的進風口與排風單元連通。冷卻裝置設于冷卻室外部，冷卻裝置的一端與風機的出風口連通，另一端與吹風單元連通。本實用新型干膜光阻冷卻系統能夠有效降低干膜光阻的膜面溫度，避免干膜光阻由于蓄熱而產生的顯影不潔等質量問題，提高干膜光阻的加工收率。?? |
